半導體生產(chǎn)的“溫濕度攻堅戰(zhàn)”，歐博空調(diào)全場景定制化解決方案賦能費勉科技
如果把芯片制造比作在頭發(fā)絲上建造一座城市，那生產(chǎn)環(huán)境的溫濕度、潔凈度就是決定這座城市能否建成的“地基”。微米級的塵埃、±0.1℃的溫差，都可能讓整批晶圓報廢，動輒損失數(shù)百萬。半導體企業(yè)每天都在打一場看不見的“溫濕度攻堅戰(zhàn)”。
在這一領(lǐng)域深耕多年的歐博空調(diào)，憑借全場景定制化解決方案，與國內(nèi)高端半導體設備領(lǐng)軍企業(yè)費勉科技達成深度合作，共同為國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)的自主可控筑牢環(huán)境保障的基石。
01 標桿再攜手：為什么是費勉科技
費勉儀器科技（上海）有限公司創(chuàng)立于2012年，是一家先進電子材料研發(fā)、制備、量測的高端科學儀器設備與半導體設備服務商。成立十余年來，費勉科技堅持“自主研發(fā)+技術(shù)創(chuàng)新”，在超高真空、溫度控制、薄膜制備、等離子技術(shù)四大領(lǐng)域積累了深厚的技術(shù)儲備，累計獲得專利超過200項，是國內(nèi)少數(shù)實現(xiàn)全鏈條自主可控的高端儀器設備企業(yè)。
憑借過硬的技術(shù)實力，費勉科技先后榮獲國家工信部專精特新“小巨人”、上海市高新技術(shù)企業(yè)、上海市專精特新企業(yè)等多項榮譽，并形成了科學儀器、等離子、工業(yè)量測和半導體薄膜四大產(chǎn)品線。
02 半導體之困：一場看不見的環(huán)境戰(zhàn)
半導體制造是迄今對生產(chǎn)環(huán)境要求最嚴苛的工業(yè)領(lǐng)域之一。
在部分高端生產(chǎn)車間中，環(huán)境控制標準已嚴苛到令人咂舌：溫度精度需控制在±0.2℃以內(nèi)，濕度精度維持在±5%的水平，潔凈度等級要求達到Class 1級，監(jiān)測顆粒粒徑閾值已從0.5微米下探至0.1微米。
新版潔凈室國家標準對溫濕度、顆粒物濃度等關(guān)鍵指標的檢測方法更將相對濕度≤30%的特殊環(huán)境納入規(guī)范。這意味著，半導體企業(yè)面臨的環(huán)境控制壓力正變得越來越大。
費勉科技的產(chǎn)品線涵蓋超高真空互聯(lián)系統(tǒng)、晶圓級MBE系統(tǒng)、紫外光源等高端設備，其自身生產(chǎn)車間對環(huán)境的要求同樣嚴苛。如何為這類高科技企業(yè)提供穩(wěn)定、精準、高效的環(huán)境保障，是對暖通空調(diào)廠商技術(shù)實力的終極考驗。
03 歐博方案：從主機到末端的全場景閉環(huán)
面對半導體生產(chǎn)環(huán)境的特殊需求，歐博空調(diào)沒有采用“一刀切”的通用方案，而是深入分析費勉科技不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)的痛點，量身定制了一套涵蓋主機與末端的全場景解決方案。
▌主機層面：雙機組協(xié)同，保障核心動力
一體式蒸發(fā)冷熱泵機組是本方案中的核心設備之一。
一體式蒸發(fā)冷熱泵機組，即將蒸發(fā)冷凝模塊、主機模塊、水力輸送模塊及相關(guān)管路配件集成組裝，構(gòu)成一個整體。
■ 一體化集成：一體式整機設計，集制冷系統(tǒng)、水力系統(tǒng)、控制系統(tǒng)，室外安裝，無需機房；
■ 冷暖聯(lián)供：整合了高效制冷與穩(wěn)定制熱功能，夏季制冷、冬季制熱自動切換；
■ 工程費用低：大幅提高工程效率，縮短施工周期，降低工程費用；
■ 制冷能效高：制冷能效比風冷熱泵提升50%以上；
針對部分需要制熱的場景，方案還配置了超低溫空氣源熱泵熱水機組。
該機組采用補氣增焓高壓比壓縮機與準雙級壓縮制冷循環(huán)，可在-30℃的低溫環(huán)境下高效制熱，有效拓寬了系統(tǒng)的適用性。
▌末端層面：組合式空調(diào)+風機盤管，精準響應
半導體車間內(nèi)，空氣的潔凈度和溫濕度分布至關(guān)重要。
歐博ZKW系列組合式空調(diào)機組通過初效、中效、高效的多級過濾系統(tǒng)，有效濾除空氣中微米級的塵埃顆粒，為車間提供超高潔凈度的空氣環(huán)境。機組各項性能指標均達到國際領(lǐng)先水平：機械強度等級CD1級、空氣泄漏等級CL1級、冷橋等級CB1級、傳熱等級CT1級。
而在辦公區(qū)域、檢測實驗室等輔助空間，歐博配置了柜式風機盤管機組、臥式安裝風機盤管及卡式風機盤管等多款末端設備，實現(xiàn)對不同空間的功能分區(qū)與個性化溫控，既保障核心生產(chǎn)區(qū)的嚴苛環(huán)境，又兼顧人員工作區(qū)域的舒適性。
04 不止于此：歐博在半導體賽道的持續(xù)深耕
與費勉科技的合作，并非歐博空調(diào)在半導體領(lǐng)域的首次亮相。
從致真存儲芯片項目到杭州泓芯微半導體二期項目，從芯科半導體到漢芯光科技，歐博空調(diào)的身影早已遍布中國“芯”版圖。
針對半導體生產(chǎn)的高能耗痛點，歐博通過溫濕分控與微環(huán)境優(yōu)化等技術(shù)手段，在保障環(huán)境精度的同時顯著降低運行成本。在芯科半導體項目中，經(jīng)實測對比，整體空調(diào)能耗較預期大幅降低，一年節(jié)省電費達百萬量級。
從設計規(guī)劃到設備交付，再到后期運維，歐博空調(diào)致力于做半導體企業(yè)全生命周期的環(huán)境合作伙伴。
國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)的崛起，是一場從材料到設備、從工藝到環(huán)境的系統(tǒng)性工程。費勉科技在高端科學儀器與半導體設備領(lǐng)域持續(xù)突破，歐博空調(diào)則在其背后提供著“看不見卻不可或缺”的環(huán)境保障。
溫濕度攻堅戰(zhàn)的勝負，往往隱藏在每一臺機組、每一套系統(tǒng)、每一次精準調(diào)校之中。
未來，歐博空調(diào)將繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動，為更多像費勉科技這樣的國產(chǎn)半導體領(lǐng)軍企業(yè)提供可靠、高效、潔凈的環(huán)境解決方案，共同推動中國半導體產(chǎn)業(yè)邁向高質(zhì)量發(fā)展的新征程。
